单室四源高真空电阻式镀膜设备
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单室四源高真空电阻式镀膜设备
来源:沈阳科诚真空技术有限公司
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简介: 1、真空室腔体:1套。外形:304优质不锈钢D形前后开门真空室腔体1套,后门采用铰链式方门,方便清洗真空腔体,真空室内部调试,维修以及取放物品,前门采用横拉方门,真空室内部尺寸D350*480mm,前后门各配DN100视窗1套; 底部:有机源接口4套,JTFB-600风冷复合分子泵接口1套,CF25照明接口2套以及美国MCVAC水冷膜厚探头接口2套;
产品详细
单室四源高真空电阻式镀膜设备

1、真空室腔体:1套

外形:304优质不锈钢D形前后开门真空室腔体1套,后门采用铰链式方门,方便清洗真空腔体,真空室内部调试,维修以及取放物品,前门采用横拉方门,真空室内部尺寸D350*480mm,前后门各配DN100视窗1套;

底部:有机源接口4套,JTFB-600风冷复合分子泵接口1套,CF25照明接口2套以及美国MCVAC水冷膜厚探头接口2套;

顶部:样品台接口1套,电动挡板接口1套,KF16气动角阀接口1套;

左侧:CF35气动预抽角阀接口1套。

2、有机源系统:1套

有机蒸发源4套:4CC石英舟,温控电源2台(温控表显示精度1℃),温度区间:室温-500℃(控温精度±1℃),配气动挡板;

隔板:蒸发源相互独立,隔板分隔,避免交叉污。

3、样品台系统:1套

基片旋转:转速0~30转/分连续可调;

基片升降:电动升降,衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调;

基片挂架:130×130mm基片台,比如可承载最多25片15×15mm基片;

基片挡板:电动挡板。

4、真空泵机组:1套

JTFB-600风冷复合分子泵1台;

8L/S直联旋片泵1台;

CF150高真空气动插板阀1台;

CF35高真空气动挡板阀1台;

KF16高真空气动挡板阀1台;

KF40高真空气动挡板阀1台;

KF40真空电磁充气阀1台;

KF40泵阀连接软管2套,KF40三通1套;

ZDF-5227数显真空计1台(测量范围:1×105~1×10-5Pa)。

5、膜厚检测系统:1套

膜厚仪:美国infocon,SQM160两通道石英晶振膜厚监控仪1套;

膜厚探头:美国MCVAC水冷膜厚探头1套。

6、设备机架:1套

40碳钢方管焊接机架1套,表面喷塑;

3英寸万向轮4件,移动调整;

M16地脚4件,锁紧定位。

7、其他电控系统:1套(电气控制采用设备机架内置)

烘烤照明电源:1台;

总控制电源(配7英寸触摸屏,PLC控制器,样品台控制器,蒸发电源,泵阀开关、相序检测,以及电缆开关接头等):1台;

8、其他技术参数:

缺相保护、误操作保护,联动互锁以及一键真空启停等功能;

供电:~220V两相供电系统(峰值3KW);

供水:小型冷水机,冷却水温度5℃~35℃,工作环境温度:10℃~40℃;

供气:小型无油静音气泵,提供0.2-0.3MPa气压,驱动气动阀门;

极限真空:优于6×10-5Pa,大气至6×10-4Pa时间优于35分钟(充干燥氮气),关机12小时真空度≤10Pa。
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标签:高真空电阻式镀膜设备,电阻式热蒸发设备
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