一、电子束水冷样品台组件1件
1、旋转：57CM23步进电机，1件光电限位开关（前后两点）；
2、升降：57CM23步进电机，配速比1:5减速器，升降2点接触限位开关，触摸屏上显示电子束高点400mm，低点300mm，金属源高点340mm，低点240mm，另取1点，可随意定位；
3、样品台挡板：24V减速电机，2件限位开关。
二、有机水冷样品台组件1件
1、旋转：57CM23步进电机，1件光电限位开关（前后两点）；
2、升降：57CM23步进电机，配速比1:5减速器，升降2点接触限位开关（触摸屏上显示高点340mm，低点240mm），另取1点，可随意定位；
3、样品台挡板：24V减速电机，2件限位开关。
三、电子束蒸发源组件
1、8KW电子束1套，380V
2、金属源3套，1KW金属源电源1套（一带三）；
3、气动挡板4套，24V换向阀。
四、有机蒸发源组件
1、有机源6套，有机源电源3套（一带二）；
2、气动挡板6套，24V换向阀。
1、VRD-30双级泵2台（220V）；
2、DDC-JQ40-KF真空电磁充气阀2台（220V）；
3、GDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀2台（24V）；
4、JTFB-1200风冷复合分子泵1台（220V）；
5、JTFB-600风冷复合分子泵1台（220V）；
6、CCQ-200CF气动超高真空插板阀1台（24V）；
7、CCQ-150CF气动超高真空插板阀1台（24V）；
8、CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀2台（24V）；
9、GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀2台（24V）；
10、ZDF-5227数显真空计1台（两高两低，测量范围：1×105～1×10-5Pa）（220V）。
六、烘烤照明
24V，250W卤钨灯每套真空室各2套，烘烤照明电源：1台或者两台
七、电控系统
采用机架内置，可用空间710mm高3列，左侧上部170mm不可用，右侧上部120mm不可用。
八、10英寸触摸屏
九、电子束膜厚系统
1、SQC310两通道石英晶振膜厚监测仪1台；
2、MCVAC水冷膜厚探头2件。
十、膜厚系统
1、SQM160两通道石英晶振膜厚监测仪1台；
2、MCVAC水冷膜厚探头2件
十一、其他
1、小型冷水机1台；
2、小型空压机1台。
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京公网安备 11010702002294号
