简介： UltraFilm薄膜测量系统是一款高精度的厚度均匀性测量设备，适用于各种材质薄膜。它采用创新的多传感器融合测量技术，结合光谱反射、近红外干涉以及高亮度光源驱动的光谱椭偏仪技术，是国内首款实现同质膜厚全自动检测的系统。该系统在50um厚度双抛玻璃片的实验中，静态精度表现为同点位多次连续测量的最大偏差值，而多次取放测量同点位数据的最大三倍标准差值，展现了其卓越的测量稳定性和重复性。