适用于氧化亚硅等可气相沉积材料大批量生产;温差控制精度高，高温真空炉;具备高真空升华，反应，脱脂，脱水，气相沉积材料自动研磨刮料，炉内收集等特殊工艺能力。

设备特点：

一次装料量大， 生产效率高。

全程全封闭全自动化作业，避免粉尘飞扬，生产现场环境整洁干净。

温度控制1500度以内，升温速率快。

可以在真空度下保持稳定运行工作。

设备参数：

炉型结构：卧式

恒温区尺寸：Φ500mm*600mm、中600mm*800mm、中700mm*1000mm、中800mm*1600mm 等尺寸(可按客户需求定制)

炉体：由内外双层水冷结构，与冷却水接触部分采用304不锈钢制作，有效防止炉体长时间使用漏气现象

升华系统：由加热区和收集区组成，加热区由感应线圈、重质刚玉、石墨硬毡、等静压石墨组成;收集区由 310S 不锈钢及保温层组成

温控系统：采用 PLC 触屏集中控制方式，自动化控制，带网口，可实现远程控制

加热系统：采用感应加热，电源采用IGBT节能型电源，噪音小，比传统晶闸管电源节能15%左右

真空系统：由多级真空泵、真空阀，压力控制器及管路组成

冷却系统：配置闭式冷却系统，内循环用去离子水，不会造成设备管路结垢，内循环水损失小，外循环用自来水，自动补水，风机自启动散热;散热效果好，集成环保，占地面积小等特点

设备由升华系统、收集系统、加热系统、温控系统、真空系统、机械系统、冷却系统组成。