FZ-14 区熔晶体生长系统是专为工业生产直径达100毫米(4英寸)的单晶硅晶体而设计。根据源棒的尺寸，可以拉出长度达1. 1米的晶体。在这个过程中，晶体的直径和液体区的高度可以通过摄像系统来监测。并且该系统的上部主轴和线圈都是自动定位的。该系统采用无接触熔化工艺，通过使用涡轮分子泵和超纯氩气作为工艺气体，产生高极限真空环境，有效地防止了工艺过程中的污染，同时还能将氮气以受控的方式引入工艺炉体。
PVA TePla为您提供更多个性化选择，例如用于掺杂的气体掺杂系统、封闭式去离子冷却水系统、原料棒的修整器和调整籽晶方向的系统。
产品数据概览:
材料：硅
晶体
晶体 1,100 mm
晶体拉动长度： 长达100 mm (4″)
晶体直径： 2.5 x 10-5 mbar
极限真空度： 0.5 bar(g)
发电机
输出电压： 30 kW
频率： 2.4 MHz
上轴
进料速度： 最高30 mm/min
上部旋转： 最高35 rpm
下轴
拉动速度： 最高 30 mm/min
下部旋转： 最高 30 rpm
尺寸规格
高度 6,280 mm
宽度： 2,750 mm
深度： 3,000 mm
重量(总)： 约 4,900 kg
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京公网安备 11010702002294号
