COV型真空炉，其特点在于加热器和由石墨或碳碳复合纤维制成以及墨毡制成的隔热层，是用于高温工艺的电阻加热批次炉系统。为氮化硼，碳化硅，氮化硅和热解碳等应用提供非标定制CVD/CVI反应炉以及氟离子清洗 & CVA 炉。提供定制化陶瓷基复合材料的化学气相沉积(CVD和CVI)交钥匙系统和解决方案。

石墨纯化炉

首先在真空条件下对批量产品进行高温纯化，在该过程中，挥发性成分经高温释放挥发。下一步处理使用卤素气体，确保氯和氟在工艺中作为有效的反应物。典型的最高工艺温度为2200℃，但在个别情况下可以达到2400℃。

在这种极端的工艺条件下，必须要最大限度地考虑安全问题，并精准了解所用材料的确切特性。

在选择所用的材料和部件时要考虑到反应性气氛，以确保系统具有尽可能长的使用寿命。

为了确保符合德国TA Luft空气质量法规等标准，使用的工艺气体及其反应产物作为废气排放前需要进行后处理。这种后处理通常由一个气体洗涤器来完成。

CVD/CVI/CVA涂层炉

为了给石墨部件涂层，前驱体被引入反应炉室，在某些时候需要以液体形式进行计量。这些前体在反应室中分解成活性成分，然后这些成分在炉内气氛的条件下作为功能性涂层沉积在部件上。工艺温度通常高达1800℃。

涂层工艺要获得成功，需仔细考量有效空间内的温度分布，气体流动以及工艺气体中与位置有关的温度。

为了确保符合德国TA Luft空气质量法规等标准，使用的工艺气体及其反应产物需要对废气进行后处理。该后处理一般通过使用气体洗涤器进行。