TOPCon激光掺杂设备：

将BSG(硼硅玻璃)作为掺杂源时，先通过扩散炉推进高硼表面浓度的P++层，但不进行氧化，以P++层作为激光掺杂源，再进行激光掺杂和氧化工艺，能够在解决硼掺浓度问题的同时简化选择发射极的制备工艺流程。

产品优势：

采用海目星自主研发激光器及特殊光路设计，实现BSG激光直掺;

根据客户需求定制，实现无损、高产能、高精度、高效率的激光掺杂;

精密视觉定位，高速柔性机构传输，碎片率低于0.02%;

基本信息：

设备尺寸：长×宽×高：5500*2300*2500(不包含三色灯，除尘机，冷水机)

适用硅片尺寸：166/182/210/230

生产场地空间：长×宽×高：9600x3260x2800

产品性能：

破片率：≤0.02%

图形精度：±15um

对准精度：±15um

产能：182尺⼨≥8400pcs/h(栅线数量<132);210尺⼨≥7300pcs/h(栅线数量<152)