采用射频等离子体球化处理粉末的基本原理：形状不规则的原料粉体颗粒由携带气体通过加料枪喷入等离子体矩中，被迅速加热而熔化，熔融的颗粒在表面张力作用下形成球形度很高的液滴，并在极短的时间内迅速凝固，从而形成球形的固态颗粒。采用射频等离子体球化处理粉末，利用射频等离子体具有能量密度高，加热强度大，等离子体矩的体积大，处理铝合金材料工艺简单等优点。由于没有电极，不会因电极蒸发而污染产品，有利于保证粉末的高纯度。

技术参数：

1. 具备球化和提纯高熔点金属粉末的能力。

2. 球化处理能力：纯钼粉时，产能≥3kg/h，球化率≥95%，粒度D50=20-35μm。

3. 无电极，运行过程中不产生损耗和污染;采用氩气、氢气、氦气、氮气等多种气体，且能够在工艺过程中进行切换。

4. 工艺控制系统：计算机系统可实现工艺过程自动控制，所有工艺参数包括送粉率、气流量等可自动控制，可设置和储存多条工艺曲线。

5. 压力控制系统：反应器压力控制系统与等离子体系统连锁，操作气氛及压力可自由选择惰性、还原性或氧化性操作气氛，压力150～760 Torr (20～101kPa)范围内可控。

6. 送料系统：具备自动送料功能;能在惰性气体保护下送粉;粉末粒度范围(常规材料)为10-200μm，送粉速率为1-40kg/h。

7. 球化室底部和旋风除尘器底部都应配置粉末收集罐。粉末收集罐带有气密阀门和水冷结构，可气氛保护，确保金属粉末全程不与空气接触。

8. 真空系统：真空腔具备内循环水冷却系统，大容量水循环闭流式真空泵、带压力控制阀。预抽真空≤20kPa。

9. 冷却系统：带完整的水冷却系统管路，配有流量安全锁定装置;具备水温、流量监测和报警系统;具备停水、停电情况下循环水安全处理系统，确保设备安全。

10. 安全和环境防护功能：配备防爆阀rupture disk。配置电磁屏蔽系统，具有法拉第电磁屏蔽笼，防止电磁辐射对操作人员的伤害。