简介： 高频等离子感应加热设备是一种利用真空管式高频振荡器在输出工作线圈上产生较强的高频、高压电磁场的设备。这种设备使定向流经工作线圈内的氩气、氧气、氮气、压缩空气迅速电离点燃后形成高温等离子火炬，亦称射频等离子炬，其核心温度可达20000℃。在冶金领域，高频等离子设备广泛应用于耐高温石英玻璃沉积、制备难熔金属纳米粉体，氧化物、氮化物、碳化物等纳米粉体及上述粉末的球化处理，同时也应用于多晶硅的区熔、拉伸等工艺。设备功率范围从8KW到200KW，频率则在1MHZ到6MHZ之间。