JX300FP是一款12寸全自动Si衬底抛光设备，专为满足高精度抛光需求而设计。它采用8Head3Platen结构，产能高，能大幅提升生产效率。每个Head可分区域精密加压，有效提高工件平坦度，确保抛光精度。设备功能齐全，标配清洗机，还可根据工艺需求选配HPMJ和在线检测模块。它支持SECE/GEM自动化对接，实现高效生产管理。在服务方面，提供24小时×7天技术支持，2小时内给出解决方案，2天内到达现场解决问题，为客户提供了全方位的保障。

12寸全自动衬底抛光 JX300FP

JX300FP是一款12寸全自动Si衬底抛光设备 可以满足客户高精度抛光需求 提供专业的抛光工艺及定制化的接口对应各种工艺路线

设备优点：

高产能：通过8Head3Platen的结构，有效提高生产产能

高精度：每个Head可分多个区域，进行精密加压，提高工件的平坦度

全功能：标配清洗机，根据工艺需求，可选配HPMJ、在线检测

自动化：SECE/GEM对应

服务快：24H×7天技术对应，2H内提供解决方案，2天内达到现场对应