简介： 湖南顶立科技的超高温硼化物沉积炉（型号：HCVD-101015-ZrC）是一款专为冶金及新材料领域设计的高性能热工装备，广泛应用于超高温硼化物（如ZrB₂、HfB₂、TaB₂等）的沉积工艺。该设备采用先进的控制技术，能够精密控制H₂、C₃H₆等工艺气体的流量和压力，确保炉膛内沉积气流稳定，压力波动小。其全密闭沉积室设计密封效果优异，抗污染能力强，同时多通道工艺气路可实现流场均匀分布，避免沉积死角，显著提升沉积效果。此外，设备配备多级高效尾气处理系统，能够有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体及低熔点粘性产物，环境友好。