LPCVD MM650是一款低压化学气相沉积设备，工艺成熟且稳定，早期用于TOPcon电池的量产。其产能为每小时9400片182*182电池，且产线平均良率较高，镀膜均匀性好。设备拥有自有专利的布气系统，增加了流场的均匀性和可控性。其主要优点包括：高良率，得益于专利流程设计;石英管周期长，通过特殊设计的固定方式和低耗气量，实现了6个月的使用周期;温场稳定，通过合理的加热丝布局，确保温场的一致性和可控性。总之，LPCVD MM650在产能、良率和稳定性方面表现出色。

气相沉积设备LPCVD MM650

低压化学气相沉积设备,工艺成熟，稳定，较早用于TOPcon电池量产的LPCVD设备。

产能：

9400PCS/小时@182*182电池产线平均良率较高，镀膜均匀性好;自有专利的布气系统，增加了流场均匀性和可控性

设备优点：

良率高：自有专利的流程设计带来量产中高的良率，镀膜均匀性好。

石英管周期长：通过特殊设计的石英管固定方式和低的耗气量，实现6个月的使用周期。

温场稳定：通过合理的加热丝布局，具有较好一致性好和可控性，从而使温场稳定可控。