卧式化学气相沉积炉（碳化硅）是一款专为以硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层和基体改性工艺设计的高端设备。该设备采用先进的控制技术，能够精密控制MTS流量和压力，确保炉膛内沉积气流稳定，压力波动小。其特殊结构的沉积室密封性好，抗污染能力强，多通道沉积气路设计实现流场均匀，无沉积死角，沉积效果优异。此外，设备配备专用防腐蚀真空机组，可有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，持续工作时间长，维修率极低。主要配置包括多种炉门升降方式、全碳钢或不锈钢炉壳、软碳毡或石墨毡炉胆、等静压石墨加热器，以及先进的工艺气路系统和高精度热电偶，最高温度可达1500℃，温控精度为±7.5℃，满足高精度化学气相沉积工艺需求。

核心参数

非金属电热元件：其他

金属电热元件：其他

烧结气氛：真空

温控精度：±7.5

最高温度：1500

额定温度：1500

化学气相沉积炉（碳化硅）可用于以硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。

技术特征

☆ 采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；

☆ 采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

☆ 采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

☆ 对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；

☆ 采用**设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。

产品规格

主要配置

☆ 炉门：丝杆升降/液压升降/手动升降；旋转移开/平行移开（大尺寸炉门）；手动锁紧/自动锁圈锁紧 

☆ 炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

☆ 炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC

☆ 加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

☆ 工艺气路系统：体积/质量流量计

☆ 热电偶：K分度号/N分度号/C分度号/S分度号