仪器简介
Nano Indenter G200 是用于纳米力学测试的最精确、最灵活、最容易使用的仪器。电磁驱动器具有极佳的力和位移动态范围,可测量 6 个数量级(从纳米到毫米)的变形。其应用包括半导体、薄膜和 MEM(晶圆应用);硬质涂层和 DLC 膜;
复合材料、纤维和聚合物;金属和陶瓷;以及生物材料和生物学。
性能指标
位移能力
压头总的位移范围: ≥1.5mm
最大压痕深度:³200mm
位移分辨率: £0.02nm
载荷能力
最大载荷(标配): ³500 mN
载荷分辨率:£50nN
高载荷选件: 10N /50nN
DCM压痕选件: 10mN/1nN
样品台
定位精度: 1um
定位控制模式:全自动遥控
光学显微镜
总的放大倍率: 250倍和1000倍
镜镜头: 10X 和40X
加载方式
恒载荷速率、恒位移速率、恒应变速率以及阶梯加载。
测试项目
测试材料微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量
样品要求
上下表面平行并经抛光,直径不超过30mm,高度不超过35mm,提供泊松比。