落 地 式 ContourX-1000 白 光 干 涉(WLI) 系 统 集 成 了Bruker 在 硬 件 和 软 件 上 的 新 技 术， 可 用 于 全 自 动 三维表面纹理和粗糙度测量。

全新的一键式高级寻找表面(Advanced Find Surface )功能结合自动聚焦和自动照明功能，无需每次测量前手动查找样品表面，极大提升了用户体验且缩短测量时间。结合自适应测量模式 USI 和简洁的引导式VisionXpress操作界面，ContourX-1000 在任何表面，任何操作人员，甚至多用户高负荷的生产设备下都可提供不打折扣的精确测量。

特点：

·可倾斜 / 俯仰光学头、双光源和先进的自动化功能可提供快速、灵活的生产车间内测量。

·自校准激光和集成的防震台可确保测量准确性和可靠性。

·提供的测量和分析软件带有简洁且有引导性的程序和模式，更大程度的方便用户使用。

光学轮廓分析设备硬件设计

ContourX-1000 集成有 Bruker 的倾斜 / 俯仰光学头，*的双光源、自动化的物镜转盘和样品台，以及可选配的晶圆卡盘。这些创新可为几乎所有的在研发和生产中的应用提供快速且解决方案，包括有难度的表面和深沟槽结构。

强大的自动化测量和分析

全局扫描干涉 (USI) 自适应测量模式可自动确定测量参数，即使在几十微米尺度内也可确保纳米级分辨率。

简洁的且带有引导性的 VisionXpress交互界面可去除操作人员经验水平的影响，快速得到佳测试结果。

即使在多用户环境中，每个使用者都可通过高级查找表面功能，自动聚焦功能和自动照明调整功能获取高 质 量 的 结 果。 使 用 全 套 兼 容 的软件包，从SureVison和多区域分析 到 Vision64 Map 和 膜 测 量，ContourX-1000 都 可 提 供 的测量来满足您特定的应用需求。

测量准确性与鲁棒性的基准

除 拥 有 Bruker 干 涉 技 术 测 量 和 成 像 能 力 之 外，ContourX-1000 还 配 备 了 专 属 的 内部参考激光和防震台以获取大的稳定性和与其他工具的匹配能力。

即使在嘈杂的环境中，该系统也能确保测量性能。