Bruker Dektak Pro布鲁克台阶仪

Dektak Pro™ 以其多功能，使用的便捷性和在薄膜厚度、台阶高度、应力、表面粗糙度和晶圆翘曲测量方面广受赞许。第十一代Dektak®系统，具有4Å重复性的表现，并提供200毫米平台选项，在科研以及工业领域中可以为材料的表面形貌提供各种分析。Dektak Pro在表面测量方面设立了新的形象，是微电子技术、薄膜与涂层和生命科学应用的理想选择。

Dektak Pro可提供：

„ 测量和分析功能，确保 每次都能获得准确、严谨的数据

„ 多功能性和便捷性，精简的软件和简便的探针更换

„ 通过直驱扫描平台和软件进步，减少获得结果的时间

Dektak Pro产品参数

测量技术：探针轮廓测量(接触测量)

测量功能：二维表面轮廓测量;可选三维测量

样品视野：可选放大倍率， 0.275到2.2 mm

探针传感器：低惯量传感器(LIS 3)

探针压力：1到15 mg，使用LIS 3传感器

低作用力：N-Lite+ 精微力传感器，0.03到15 mg(可选)

探针选项：

探针半径选项从50 nm到25 μm;

高径比(HAR)针尖200 μm x 20 μm;

可根据客户要求提供定制针尖

样品台 XY载物台：

手动100 mm(4")，手动调平;

电动150 mm(6")，手动调平;

带编码器电动200 mm(8")，手动调平

样品旋转台：手动或自动，连续360°

减震装置：减震装置可用(选配)

扫描长度范围：55 mm(2");200 mm(8")具备扫描拼接能力

每次扫描数据点：可达120,000个数据点

样品厚度可达：50 mm (1.95")

晶圆尺寸可达：200 mm (8")

台阶高度重复性：4 Å, 1 sigma ( ≤1 μm 标准台阶样品)

垂直范围：1 mm (0.039")

垂直分辨率：1 Å (@ 6.55 μm 范围)

输入电压：100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz

温度范围：工作范围20到 25°C (68 到 77ºF)

湿度范围：≤80%, 无冷凝

系统尺寸与重量：

尺寸：455 mm W x 550 mm D x 370 mm H(17.9" W x 22.6" D x 14.5" H);

重量：34 kg(75 lb);

外壳尺寸：550 mm L x 585 mm W x 445 mm H(21.6" Lx 23" W x 17.5" H);

外壳重量：5.0 kg(11 lb)