OTF-1200X-Ⅱ-S2 1200℃多坩埚同时移动型管式炉
应用范围：OTF-1200X-Ⅱ-S2是一款双温区带有升降双通道进料系统的共蒸发多层沉积管式炉，通过升降双通道进料系统可装载4个不同材料的蒸发坩埚舟，并且可一次同时送入两个蒸发坩埚源进入管式炉中进行共蒸发或反应蒸发。双温区管式炉可以实现快速加热，并且通过对各个温区设置不同的加热温度可以创建不同的温度梯度从而实现蒸发沉积。双通道进料系统可以在程序控制下将2个装载不同蒸发料的坩埚一同推进拉出，实现共蒸发或者反应蒸发，特别适用于多层二维晶体材料的制备。
产品型号：OTF-1200X-Ⅱ-S2
上架时间 ：2019-07-29
安装尺寸：2600mm(L) x 600mm(W) x 900mm(H)
OTF-1200X-Ⅱ-S2是一款双温区带有升降双通道进料系统的共蒸发多层沉积管式炉，通过升降双通道进料系统可装载4个不同材料的蒸发坩埚舟，并且可一次同时送入两个蒸发坩埚源进入管式炉中进行共蒸发或反应蒸发。双温区管式炉可以实现快速加热，并且通过对各个温区设置不同的加热温度可以创建不同的温度梯度从而实现蒸发沉积。双通道进料系统可以在程序控制下将2个装载不同蒸发料的坩埚一同推进拉出，实现共蒸发或者反应蒸发，特别适用于多层二维晶体材料的制备。
性能指标和基本配置
管式炉
● 双温区管式炉：两个独立的温控系统对每个温区进行独立控温
● 电压：220V AC 50/60Hz
● 功率：3KW
● 加热区长度：440mm
● 恒温区长度：300mm
● 温度曲线图(两个温区设置在800℃时所测，仅供参考）
● 炉管材料：高纯石英管
● 标配炉管尺寸：Φ100（外）×Φ94（内）×640（长）
● 最高工作温度：1200℃（＜1h）
● 连续工作温度：1100℃
● 控温精度：±1℃
● 推荐升温速率：10℃/min
坩埚推送机构（升降双通道进料系统）
● 一根铠装热电偶通过左端法兰通入炉管内部，并与坩埚相连接，实现温度的实时监测
● 升降双通道进料系统放置在一中空的真空腔体中，上方采用不锈钢真空法兰进行密封，两端同样采用不锈钢真空法兰与坩埚推进装置及管式炉进行连接，保证进料在真空状态或者气氛保护状态下进行运作
● 进料系统真空腔体右端与管式炉连接法兰处安装有2个独立小石英管
● 在升降双通道进料系统中最多可放入4个坩埚，利用推送系统可交替将4个不同蒸发源单个依次送入石英管中，也可将放入不同材料的2个坩埚蒸发源一同送入，分别精确的推入两个独立的小石英管中，找到所需的蒸发温度处进行共蒸发或者反应蒸发，保证实验的重复性以及稳定性
坩埚推送控制系统
● 采用PLC触摸屏控制
● 通过一步进电机控制坩埚的移动速度和位置，进样位置和速度可调
● 可控制坩埚最小移动位移为1mm
● 坩埚最大移动距离为200mm
真空表 机械压力表+数显压力表
真空泵 真空度：10E-2 torr（采用机械泵），10-E5 torr(采用分子泵)
混气系统
● 此套设备中配有一2路混气系统
● 最大输出功率：18W
● 工作温度：5-45℃
● 精度：±1%FS
● 质量流量计量程：1:0-100sccm 2:1-199sccm
● 可根据客户要求选购1-5路供气系统
水冷系统 标配一16L循环水冷系统
尺寸 2600mm(L) x 600mm(W) x 900mm(H)
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京公网安备 11010702002294号
