OTF-1100X-15-III 1100℃电动开启式三温区管式炉
应用范围：OTF-1100X-15-III是一款通过CE认证的三温区管式炉，采用15英寸石英炉管及不锈钢密封法兰（安装有不锈钢截止阀和机械压力表）。炉体设计为电动开启式。三个温区独立控制，可设置30段升降温曲线，带有超温和短偶保护，控温精度为+/-0.5 ºC。此款设备广泛应用于各种材料在真空或气氛保护环境下的热处理。
产品型号：OTF-1100X-15-III
上架时间 ：2019-07-30
安装尺寸：2300L x 1500W x 1400 H mm
重量：300kg
OTF-1100X-15-III是一款通过CE认证的三温区管式炉，采用15英寸石英炉管及不锈钢密封法兰（安装有不锈钢截止阀和机械压力表）。炉体设计为电动开启式。三个温区独立控制，可设置30段升降温曲线，带有超温和短偶保护，控温精度为+/-0.5 ºC。此款设备广泛应用于各种材料在真空或气氛保护环境下的热处理。
性能指标和基本配置
型号 OTF-1100X-15-III
炉体结构 ● 双层壳体结构，并带有风冷系统，壳体表面温度< 70°C.
● 加热元件：SiC棒
● 设备中配有2个氧化铝管堵，以保证炉膛内部温度均匀性（炉体加热前，管堵必须塞入到炉管内部）
● 此管式炉可作为退火或扩散管式炉（6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架装载）
● 电动开启式设计，使得用户操作更加简便
● 结构图氧化铝管堵晶片装载电动开启
加热区
● 总加热区长度1000mm
● 三个加热区: 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone)
工作温度 ● 最高工作温度1100℃
● 最高加热速率：10℃/min
● 加热元件：SiC棒（36根）
温控系统 控温精度为+/-0.5℃
炉管
● 15英寸高纯石英炉管：尺寸：400mm OD. x 388mm ID. x 1860mm L
● 注意：石英炉管易碎，操作需谨慎
真空密封&法兰
● 一对不锈钢真空密封法兰（铰链式），4个硅胶密封圈，可使炉管内真空度达到10^-3torr（采用机械泵抽真空）
● 左端法兰：安装有不锈钢针阀，Φ6.35的进气口
● 右端法兰：KF40
真空泵接口Φ6.35铠装接口（用于热偶插入到炉管内，测量炉管内温度和进行温度校准）
可选
● 此管式炉需定期校准，以保证温度的准确性和均匀性，我们可提供简单的校准工具：
1根1200mm的K型铠装热偶
1个Omega温度校准仪表
此型号管式炉只可选用机械泵，且最低真空度只能够抽到-0.05MPa，否则可能造成炉管损伤
4'' ~ 8'' 晶片石英支架
● 可与手套箱系统联用，实现氧敏感性材料的烧结制备
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京公网安备 11010702002294号
