简介： OTF-1200X-50S-PE-SL是一款小型滑动开启式PECVD管式炉系统，专为高效薄膜沉积实验设计。该系统配备等离子射频电源、直径50mm的开启式管式炉（含真空法兰和连接管道）以及机械泵，能够实现稳定的等离子体增强化学气相沉积。其安装尺寸为1500mm×600mm×1200mm，重量约160kg，结构紧凑且操作便捷。此外，该设备可根据实验需求灵活升级为不同类型的PECVD系统，性价比高，非常适合高校、科研机构和企业实验室在薄膜制备、材料表面改性等领域的研究应用。