简介： KT-PE16 倾斜旋转式 PECVD 炉 PECVD 炉由一个 500W 射频等离子源、一个双区 TF-1200 管式炉、4 个 MFC 气体精确控制单元和一个标准真空站组成。炉子的最高工作温度可达 1600℃。工作温度高达 1600℃，炉管为直径 60mm 的 Al2O2 陶瓷管；4 通道 MFC 质量流量计，气源为 CH4、H2、O2 和 N2；真空站为 1 台 4L/S 旋片真空泵，最大真空压力为 10Pa。