简介： KT-PE12 带液体气化器的滑动 PECVD 系统由一个 500W 射频等离子源、一个 TF-1200 滑动炉、4 个 MFC 气体精确控制单元和一个标准真空站组成。炉腔轨道滑动系统，可实现快速加热和快速冷却，可选配辅助强制空气循环风扇，加快冷却速度；可选配滑动自动工作装置；最高工作温度可达 1200℃。工作温度最高可达 1200℃，炉管为一根直径 60 毫米的石英管；4 通道 MFC 质量流量计，气源为 CH4、H2、O2 和 N2；真空站为一台 4L/S 旋片真空泵，最大真空压力可达 10P。真空压力可达 10Pa。