简介： KT-CTF14 多区 CVD 炉有 2 个加热区，最高工作温度可达 1200℃，炉管为直径 60mm 的石英管；4 通道 MFC 质量流量计，气源为 CH4、H2、O2 和 N2；真空站为 4L/S 旋片真空泵，最大真空压力可达 10Pa。真空压力可达 10Pa。