单晶提拉炉
一、主要技术参数：
1、熔料量：2Kg(以金属铟7.3g/cm3计)
2、工作温度：500℃；
3、设计温度：800℃；
4、坩埚材质：超高纯石墨；
5、加热方式：石墨加热；
6、电极中心距/数量：300mm（一对）；
7、功率：30KW；
8、冷炉的极限真空度：≤6.67*10-2pa；
9、冷炉泄漏率：≤10Pa/h；
10、炉膛设计压力：≤0.03MPa；
11、籽晶拉速范围：2～80mm/h；
12、籽晶杆快升/快降：≥100mm/min；
13、籽晶杆转速范围：1～50rpm；
14、坩埚行程：150mm；
15、坩埚转速范围：5～15rpm；
16、下降杆快升/快降：50mm/min；
17、水冷系统:室外闭式循环冷却系统，流量5m3/h。
18、控温精度：±1℃。
二、结构及性能说明：
SG-GJL800型单晶提拉炉主要部分组成
1、炉体：
真空炉室尺寸φ400*700mm，双层通水炉壁用304不锈钢，炉门为侧开门，炉门上设有通水石英观察窗。
2、真空系统：
2.1为适应用户的工艺要求，配备扩散泵机组。
2.2真空阀为真空碟阀；在机械泵抽气口安装有电磁真空压差放气阀。
3、真空计：
真空计是用来测量真空度的装置。设备中设置了压力真空表（安装在与炉体的真空管道上）与热偶真空计两种；真空硅管安装在炉体排气口与真空碟阀连接的管道上，用来测量真空度。
4、提拉机构：
采用滚珠丝杠加导轨拖动移动平台直线运动。称重控制采用应变式传感器。提拉速度和旋转速度在触摸屏上设置，具有故障报警、报警记录、数据记录，断电自动处理，超压报警等，数据记录可以通过U盘拷出放入计算机进行分析。
5、加热系统：
隔热屏采用石墨及碳毡材料制作，结构型式为圆形隔热屏，加热器也采用石墨圆型结构型式，安装在圆形隔热屏的圆周上，使其形成一个整体；加热器采用铜电极连接石墨发热体，易于拆卸和维修。
6、电控系统：
昆仑通泰10寸液晶触摸屏显示，以实现数据的存储、输出，可通过U盘复制到计算机上，曲线实时显示屏;让程序设置更快捷,设备运行状态更直观，设定数据和操作都是图文界面，操作方便；针对数据的存储、输出，可通过USB接口复制数据到计算机上长期保存，可以预设多条加热曲线。控温精度±1℃。专家模块和控制算法相结合，实现精密控温，有效抑制温度过冲。超温报警系统具有切断主回路、声光报警和自动恢复解除功能。
注：可根据要求定制炉膛尺寸，其他特殊要求订货时请说明。
中国科学院上海光学精密机械研究所实验炉-质量优势：
一、炉壳、炉膛
1、双层优质碳钢板、表面防锈耐高温烤漆处理；
二、电器、控温
1、电子元件全部德力西、可控硅是日本或德国原装；
2、为了安全、高效使用，采用进口全铜隔离式变压器；
3、温度控制和检测全部采用
单铂铑（S型）≤1500℃；
双铂铑（B型）≤1800℃。
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京公网安备 11010702002294号
