高真空晶体炉
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高真空晶体炉
来源:中国科学院上海光学精密机械研究所
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简介: 高真空晶体炉是一种用于生长氧化物晶体(如YAG:Nd、Al2O3、TeO2、LiTaO3、LiNbO3等)的设备,广泛应用于科研院所和企事业单位的新晶体材料研究和生产。该设备采用感应加热或电阻加热方式,可使用铱金、铂金、石墨、钼等坩埚。其主要功能与特点包括高精度丝杠和电机、模块化电路设计、高精度重量传感器、全电脑控制、关键参数实时呈现以及紧急情况自动处理。技术参数涵盖感应加热方式、石英桶尺寸、中频功率、真空度、提拉速度、旋转速度、坩埚尺寸和材质等。
产品详细

高真空晶体炉

高真空晶体炉


用途概况:

高真空晶体炉采用感应加热、电阻加热方式,可用铱金、铂金、石墨、钼等坩埚。

主要用途和适用范围:

可以生长氧化物晶体(如YAG:Nd、Al2O3、TeO2、LiTaO3、LiNbO3等),是科研院所、企事业单位新晶体材料的提拉法、下降法、泡生法、温梯法生长性能研究和生产的优良可靠设备。

主要功能与特点:

1.高精度丝杠、高质量电机使得传动系统更加精确和稳定。

2.模块化电路设计,控制电路更加稳定、可靠、易于维护。

3.高精度重量传感器保证了出色的自动直径控制性能。

4.全电脑控制,晶体外形控制更出色、更少人工监测。

5.关键参数实时呈现,晶体生长过程一目了然。

6.紧急情况自动处理,为设备和坩埚提供一定的安全保障。

技术参数:

1.原理加热采用感应加热方式,坩埚在石英管内,封装在外壳内。分子泵外置。

2.石英桶80*90*400用于放置坩埚保温材料。

3.中频功率15KW,2.5kHz

4.真空5*10-3PA冷炉极限真空

5.慢速提拉0.1-10mm/h

6.快速提拉10-70mm/min

7.旋转速度0.1-50r/min

8.坩埚35*35,可加热至1600度材质Pt

9.下部密封与石英桶密封,循环水强制冷却。抽真空接口,充气口。

10.上部密封与石英桶密封,循环水强制冷却,与上提拉波纹管接口

11.旋转机构包括旋转电机,旋转密封磁流体

12.提拉机构旋转机构安装上提拉机构移动块上。提拉机构包括,步进电机,减速机,滚珠丝杠、导轨,立柱和立柱旋转机构。

13.HMI用于设定升降问程序,运行,停止、暂停,中频启停。升降控制包括,慢升,慢降,快升和快降及速度大小。(快升为手按住升或将,松开停止)旋转控制包括:正转,反转,停止,速度大小。

14.指示灯三色,红、黄、绿,用于故障报警。

15.为控制柜包括温度控制,运动控制电器等安装参数。

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标签:高真空晶体炉,冶金设备
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