扩散炉/退火炉
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扩散炉/退火炉
来源:中国科学院上海光学精密机械研究所
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简介: 本设备主要应用于光电子器件、新能源、太阳能电池、集成电路制造及对半导体等材料进行扩散、氧化、退火和沉积等工艺,可用于各种工艺尺寸。该设备系统具有精确微机控制系统,气体控制系统、具有多种故障报警及安全互锁功能。
产品详细

扩散炉/退火炉

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产品描述:

本设备主要应用于光电子器件、新能源、太阳能电池、集成电路制造及对半导体等材料进行扩散、氧化、退火和沉积等工艺,可用于各种工艺尺寸。该设备系统具有精确微机控制系统,气体控制系统、具有多种故障报警及安全互锁功能。

结构介绍:

卧式扩散炉是石英舟平行于水平面,一台可以单管或多管的工艺炉管,平均炉管的占地面积更小,片间的工艺参数较立式扩散炉更好,更加有利于机械手传送光学衬底片,片内工艺参数一致性较好。

扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成:

控制系统:采用触摸一体机,传感器万能输入,控制精度为0.1级。本控制系统采用高精度温度控制专用模块进行温度控制。主控单元(PLC)通过RS485通讯口与仪表通讯,可通过工艺编程实现全自动执行升、恒、降温度曲线(工艺设定和监控在工控机上)。温控模块使用自整定的PID进行温度的


精确控制:

进出舟系统:手动进出料或自动进出料(有手动石英拉钩和悬臂桨两种结构);

加热系统:炉体由进口KANTHAL(康泰尔)公司生产的高温炉丝,英国MORGAN(摩根)保温棉,优质99瓷绝缘子,管口处采用进口陶瓷纤维,不锈钢304外壳等部分组成,设备上装有测温热电偶和超温热电偶;

气路系统:气路系统包括质量流量控制器、气动阀、不锈钢接头、过滤器、减压器、单向网等,管道采用耐蚀不锈钢管。密封良好。整个管路各个网门之间采用程序互锁,保证了各个阀门之间的连锁互动关系。所有气路管道及阀门均采用316L不锈钢管材,软管路均采用聚四氟乙烯管路连接。可通入保护性气体(正压<0.04MPa下使用)。

扩散炉/退火炉

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标签:退火炉,扩散炉,冶金设备
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