RTP1200(1200度快速升温管式炉)
一、概述
该炉为对开式双层壳体结构，炉膛采用日本技术
氧化铝多晶体纤维材料，适用于快速退火处理。配有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，确保使用安全。
二、功能与原理
1. 配备空气开关和漏电保护器，当电路过流或漏电时，会自动断开电源，保障设备和操作人员的安全。
2. 该炉可通过通讯接口与电脑连接，用户可在电脑上实时监控和调整炉子的参数，包括PV和SV温度值，并保存每个时刻的温度数据。
3. 炉膛设计精细，电阻丝间距和节距按最优热工技术布置，并经过热工软件模拟温场，采用四周加热方式，保证温场均衡稳定。
4. 可选配符合UL认证的电气板，确保设备达到国际安全标准。
三、适用领域与实验
1. 本设备适用于材料科学、半导体制造、微电子加工等领域，特别适合需要快速退火和热处理的实验。
2. 适用于基片薄膜的快速热处理实验，以及高精度控温要求的材料研发与测试。
四、优点
a. 快速升温：最大升温速率可达50℃/s，提高实验效率。
b. 安全性高：配有行程开关及漏电保护，保证操作过程的安全。
c. 精准控温：可实现高精度的温度控制，支持多组PID参数及自整定功能。
d. 多功能通讯：可与电脑连接，实时监控温度变化，支持数据记录与分析。
e. 国际标准：可选配UL认证电气板，符合国际安全和质量标准。
五、结构组成
1. 炉体：采用对开式双层壳体结构，保证内部温场稳定且外部安全。
2. 炉膛：由高纯氧化铝多晶纤维材料制成，耐高温且热效应好，确保实验的精确性。
3. 加热元件：采用高效电阻丝，按最优热工技术布置，支持四周加热，实现温场均匀。
4. 控制系统：配备英国欧陆 Eurotherm 控温仪表，具备多组PID参数、快速响应及高精度控制功能。
5. 安全系统：包括空气开关、漏电保护、行程开关等，确保操作过程中的人身和设备安全。
6. 电气板：可选配符合UL认证的电气板，进一步提升设备的安全性和国际通用性。
六、详细参数
注意事项：
一、炉管内气压不可高于 0.02 MPa
二、由于气瓶内部气压较高，通入气体时气瓶上必须安装减压阀，确保安全，建议使用压力低于 0.02 MPa
三、炉体温度高于 1000 ℃ 时，炉管内不可处于真空状态，气压需和大气压相当
四、进入炉管的气体流量需小于 200 SCCM，避免冷气流对热炉管的冲击
五、进行样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需关闭，必须关注压力表，若气压大于 0.02 MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外（如炉管破裂，法兰飞出等）
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京公网安备 11010702002294号
