双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS
型号:OTF-1200X-4-C4LVS
产地:广东
产品介绍
双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的双管CVD系统，是专为在金属箔上生长薄膜而设计的，特别适用于新一代能源——柔性金属箔电极方面的研究。本机可通过滑动炉体，实现快速加热和冷却。
产品型号
双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS
安装条件
本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）
2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地
3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）
4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通风装置：需要
主要特点
1、采用高纯Al2O3保温材料，保证了炉膛有极好的温度均匀性，内炉膛表面涂有进口高温
氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。
2、设有双石英管，金属箔缠绕在内管的外表面上，以发生CVD反应。
3、双管的真空密封法兰允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管。
4、配有四通道质量流量计控制4路气体，及采用KF25快接和波纹管连接的高速机械泵。
5、底部设有滑轨，炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温。
6、样品所在的位置每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。
技术参数
1、电源：单相208V-240V AC 50Hz/60Hz 2.5KW（20A保险丝）
2、石英管：外管外径Ø100mm，内径Ø96mm，长1400mm
内管外径Ø80mm，内径Ø75mm，长1400mm
3、加热区：440mm
4、恒温区：120mm（双温区炉可获得240mm）
5、工作温度：最高温度1100℃，连续温度1000℃
6、控温精度：±1℃
7、升降温速度：在使用前需要校正工作温度、加热效率、冷却效率
8、真空度：10-3torr（机械泵），10-5torr（分子泵）
9、真空法兰：SS304不锈钢，配有两个高温O型圈密封
10、流量计：4路精密质子流量计，气体流量自动控制（数字显示）
MFC1范围0-100sccm MFC2范围0-200sccm
MFC3范围0-200sccm MFC4范围0-500sccm
11、流量精度：0.2%
12、进出气口：1/4"卡套
产品规格
尺寸：550mm×380mm×520mm；重量：138kg
可选配件
1、铜箔（150m×150mm×25µm，生长
石墨烯用）
2、防腐型数字式真空显示计
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京公网安备 11010702002294号
