简介： 上海钜晶提供的1200℃大管径CVD系统（型号：CVD-1200）是一款专业的高温电炉，适用于进行大管径管式炉的热处理作业。这款设备特别适用于高温气氛炉中的真空气氛炉操作，可用于气氛保护烧结、气氛还原和退火等多种工艺过程。CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统组成，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10^-3^Pa。