感应加热长晶炉装置
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感应加热长晶炉装置
来源:郑州科创电子有限公司
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简介: 感应加热长晶炉装置由感应加热设备、坩埚及保温装置等多部分组成,适用于碳化硅、蓝宝石等晶体长晶工艺,可适配多种坩埚类型。其特点包括无易损件、运行成本低,起炉快、热惯性小,直接加热坩埚且功率密度大,采用高精度感应加热设备实现高精度温度控制,且感应加热与坩埚间无电连接点,保温条件好、温场均匀、使用寿命长。
产品详细

感应加热长晶炉装置

感应加热长晶炉装置主要由感应加热设备,坩埚及保温装置、密封石英管装置、区熔装置、定向凝固装置、真空装置、保护气氛装置、测温装置、支架及操作台装置与可视化控制系统组成。


适应于碳化硅、蓝宝石、激光晶体等各种晶体的长晶工艺。

坩埚类型可适应:石墨坩埚、依金坩埚、钨钼坩埚、铂金坩埚等。

感应加热长晶炉特点:

1、无易损件,运行成本低。

2、起炉快,热惯性小,系统响应速度高。

3、直接加热坩埚,功率密度大,更易达到高温

4、采用高精度感应加热设备,功率控制精度高,可实现高精度温度控制。

5、感应加热与坩埚之间没有电连接点,保温条件好,温场均匀,使用寿命长。
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标签:感应加热长晶炉装置,感应加热设备
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