前端预热双温区CVD设备
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前端预热双温区CVD设备
来源：安徽贝意克设备技术有限公司
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简介： 1200℃开启式真空管式炉不仅可以抽真空,也可以通气体保护。其结构使得拆装炉管方便，操作简捷，使用者可直接将密封腔体移出炉体，加快降温过程，透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态。法兰采用卡箍快捷接头，减去了取放料时的繁琐操作， 炉管工件横穿与上下各6组进口电阻丝的炉膛，温场均匀，内外温差可控制在3度左右，气动弹簧支撑结构让操作者可各角度安全开启。广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。
产品详细
主要技术指标： 
双温区开启式真空管式炉BTF-1200C-II φ50mm

设备特点：
1200℃开启式真空管式炉不仅可以抽真空,也可以通气体保护。其结构使得拆装炉管方便，操作简捷，使用者可直接将密封腔体移出炉体，加快降温过程，透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态。法兰采用卡箍快捷接头，减去了取放料时的繁琐操作， 炉管工件横穿与上下各6组进口电阻丝的炉膛，温场均匀，内外温差可控制在3度左右，气动弹簧支撑结构让操作者可各角度安全开启。广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。

技术参数：
炉管尺寸：Φ50*1200mm
加热元件：电阻丝
加热区长度：200+200mm
恒温区长度：100+100mm
工作温度≤1100℃
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃
推荐升温速度：15℃/ min
炉门结构：开启式
工作电源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz
额定功率：3KW
外型尺寸：590×380×500 mm
密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头）端口可按实际使用扩展。 
预热器BTF-400C
工作温度：350℃
最高温度：400℃
最快升温速率：30℃/min
推荐升温速率：10℃/min
控温方式：智能化30段可编程控制
工作电压：AC220 V
额定功率：800W
控温精度：±1℃
加热元件：电阻丝 

两路供气系统 GMF-2Z   
供气系统是一种可控制两种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制。

连接头类型：双卡套不锈钢接头。
标准量程（N2)： 500sccm、500sccm（量程可选）

H2、Ar、N2质量流量计选用S49 32/MT系列，指标如下：
准确度：±1.5%
线性：±1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：(50 ～ 300) kPa(D)，(100～300)kPa(D)(10L/min)
最大压力：3MPa
接口：Φ6,1/4''
显示：液晶屏显示
工作环境温度:5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管：Φ6
压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀：Φ6
低真空机组 VAU-02 
VAU-02是一套低真空机组，内部安装BSV-10机械泵1台，电阻真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。

技术参数：

工作环境：5℃～40℃
空气相对湿度≤85%，
工作电电压：220V±10% 50~60HZ
功率：1千瓦
抽气速率：10m³/h
极限真空：5X10-1Pa
工作压力范围为1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐压值为0.03MPa
容油量：1.1L
进气口口径：KF25
排气口口径：KF25
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标签：双温区CVD设备,CVD设备,冶金设备
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