工作原理

EdgeMaster系列采用多模态光学融合技术：通过共聚焦显微镜与白光干涉仪双光路协同工作，共聚焦光路利用针孔滤波原理实现纵向层切扫描（步进精度5nm），获取物体表面深度信息；白光干涉光路通过分光镜生成参考光与测量光，经压电陶瓷（PZT）驱动的物镜扫描获取干涉条纹，结合相移算法重建纳米级表面形貌；系统运用GPU加速计算与智能数据融合算法，将共聚焦的宏观形貌数据与干涉仪的微观粗糙度数据无缝拼接，实现从毫米级整体轮廓到纳米级局部纹理的全尺度测量，垂直分辨率达0.1nm，重复性精度±0.02μm。

应用范围

覆盖多行业高精度检测需求：精密模具（注塑模/压铸模型芯型腔磨损量测量、镜面抛光质量Ra≤0.01μm验证）、半导体封装（晶圆级芯片表面粗糙度一致性控制、Bumping凸点高度与共面性检测）、生物医疗（人工关节表面DLC涂层厚度测量、牙科种植体微螺纹形貌分析）、航空航天（涡轮叶片气膜孔出口边缘毛刺尺寸检测、复合材料构件铺层界面粗糙度评估）及3C电子（手机玻璃盖板2.5D/3D边缘C角轮廓度检测、陶瓷背板表面光泽度均匀性分析）等，尤其适合带复杂曲率、微小特征及多材质界面的工件测量。

技术参数

垂直测量范围0.1μm-10mm，横向视场0.08mm-20mm可调（通过物镜切换）；扫描速度5μm/s-1mm/s动态可调，支持高速模式（最高500μm/s）；数据输出兼容ISO 25178、GB/T 3505等标准参数（Ra、Rz、Sq等30+项），支持自定义滤波器设置；设备重量25kg，尺寸500mm×400mm×600mm，工作温度15-30℃，湿度≤65%RH；配备10MP高分辨率CMOS相机与5×/10×/20×/50×超低畸变物镜，支持最大倾斜角±12°样品测量。

产品特点

非接触式无损检测，避免触针划伤软质或涂层表面；智能软件内置AI形貌分类引擎，可自动识别划痕、橘皮、孔洞等缺陷类型并生成3D彩色渲染图；提供一键式标准参数计算与自定义分析模板功能，新手用户10分钟即可完成复杂测量任务；支持与机器人联动实现自动化生产线集成，检测效率提升3倍；通过CNAS实验室认可与ISO 17025计量认证，数据可追溯至国际计量基准。EdgeMaster系列以“精准、高效、智能”的特性，重新定义光学三维形状粗糙度检测技术新标杆。