工作原理

XDAL600采用全反射X射线荧光光谱技术，通过微聚焦X射线管发射高强度、单色化的X射线束，以极小入射角（低于临界角）照射样品表面，使X射线在样品-空气界面发生全反射，激发镀层或薄膜材料中的特征X荧光。高纯锗探测器（HPGe）或硅漂移探测器（SDD）捕获荧光信号，经多道分析器（MCA）转化为能谱图，结合标准样品库与智能算法，精准解析镀层厚度（0.001μm-10μm）及元素组成（Na-U）。设备内置自动校准系统与背景噪声抑制技术，可消除基材干扰，实现单层、多层镀层的非破坏性检测。

应用范围

覆盖多领域的超薄镀层分析需求：半导体芯片铜互连层厚度控制、5G通信器件银浆印刷层均匀性筛查、锂电池正极材料钴酸锂薄膜成分分析、医疗器械钛合金表面氮化钛（TiN）防腐镀层检测等。其支持导电与非导电样品检测，适配从微电子元件到大型曲面部件的检测需求，尤其适合研发实验室高精度分析与生产线在线抽检场景，助力企业突破纳米级镀层质量控制的技术瓶颈。

技术参数

X射线管电压5-50kV可调，微聚焦光斑直径≤50μm；探测器类型可选高纯锗（HPGe，分辨率≤120eV@Mn Kα）或硅漂移探测器（SDD，分辨率≤145eV@Mn Kα）；测量范围0.001μm-10μm，重复性≤0.5%（标准样品）；元素分析范围Na（钠）-U（铀），检出限低至0.01ppm；样品舱尺寸200×150×30mm，支持异形件检测；数据接口包括USB 3.0、以太网及WiFi，兼容Excel/CSV格式导出与LIMS系统直连；设备尺寸450×400×550mm，重量65kg，配备万向轮与可调支脚，便于实验室灵活部署。

产品特点

全反射技术实现亚纳米级厚度分辨率，较传统ED-XRF精度提升10倍；智能元素识别算法支持自动匹配500+种材料库，操作门槛降低60%；一键生成ISO/ASTM标准合规报告功能，通过蓝牙连接打印机或移动终端直接输出检测结果；多层镀层解析速度≤3秒/点，较传统方法效率提升5倍；全封闭式铅屏蔽舱搭配实时辐射监测系统，安全性获TÜV莱茵认证，助力企业实现超薄镀层检测的精准性、效率与安全性的三重突破。