F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪
简介
F54-XYT-300 薄膜厚度测量仪采用光谱反射技术,能够高效测量最大200x200mm样品的薄膜厚度,具备电动XY工作台与多种预设及自定义测量坐标图案功能。其配备显微镜和实时摄像头,支持图案表面显微测量,适用于较粗糙材料。内置测绘图案生成器的FILMAPPER软件进一步提升了测量自动化水平。
Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪产品介绍:
Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪借助F54-XYT-300的光谱反射系统,可以快速轻松地测量200 x 200mm样品的薄膜厚度。电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供快速的厚度测量,速度达到每秒两点。
Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪产品特点优势:
自动化薄膜厚度绘图系统,快速定位、实时获得结果;
可测样品膜层:基本上光滑的。非金属的薄膜都可以测量;
测绘结果可用2D或3D呈现,方便用户从不同的角度检视;
Filmetrics F54-XYT-300 自动测量光学膜厚仪测量原理:
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。