HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪
简介
Auto SE是一款集成了液晶调制技术和反射式微光斑的全自动快速椭偏仪，具备高重复性和信噪比，适用于多种样品的快速薄膜测量与质量控制。其一键式操作界面简化了数据处理流程，同时提供自动MAPPING扫描功能以评估样品镀膜均匀性。该设备兼容200mm×200mm样品台，覆盖450-1000nm光谱范围，适合科研与工业生产中的非均匀及图案化样品测试需求。
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品介绍：
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮，几秒钟内即可自动完成样品测量和分析，并提供完整的薄膜特性分析报告，包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。它是用于快速薄膜测量和器件质量控制的解决方案。专为薄膜测量设计，一键式操作实现高效率。
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品特点：
可在450nm~1000nm波长内实现快速测量（<1秒）
多种光斑尺寸软件选择
自动装载和调整样品高度（需自动平台）
大面积自动成像（需自动平台）
密封气体池、透过率曲线测量等多种附件
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品优势：
光斑可视系统：HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪具备MyAutoView光斑可视系统，可清晰观察光滑或粗糙的样品表面，保证用户可将测量光斑准确定位在样品目标上的测量位置。
大样品成像选项：HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪配备自动平台，方便定位测量样品上微结构的位置，可对不均匀大样品片进行mapping成像。
智能诊断：HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪仪器维护非常简单，借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题，对故障进行处理
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪产品测量原理：
HORIBA Auto SE 椭偏仪是利用薄膜的光学特性进行膜厚测量的非接触测量方法。基于偏振光反射或透射时的状态变化来测量薄膜的厚度和折射率。当偏振光照射到薄膜表面时，反射光或透射光的偏振状态会发生变化，这种变化依赖于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振状态和角度。通过分析这些变化，可以准确地推导出薄膜的厚度。
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪软件：
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪软件DeltaPsi2功能强大，它基于WindowsT操作系统，充分利用了HORIBA Scientific（JobinYvon光谱技术）椭偏仪硬件技术的优势，具有众多的建模和拟合处理功能，以及简单的操作界面，可为研究者提供便捷的椭偏分析手段。
梯度膜层
粗糙度或界面
材料组份/结晶度
各向异性膜层
薄膜厚度的不均匀性
退偏因子
与材料模型公式相关的完整的属性数据库
对于厚透明样品基底背景光的自动修正
周期变化结构
用户超薄薄膜应用的BLMC算法
多重猜测、多重初值、多重模型、相关性……
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