光学膜厚测量仪
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光学膜厚测量仪
来源:优尼康科技有限公司
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简介: Filmetrics-F40薄膜厚度测量仪是一款结合显微镜的薄膜测量系统,能够快速准确地测量薄膜的厚度和光学常数。该设备特别适用于需要在微小限定区域进行测量的应用,并且可以与市面上大多数显微镜连接使用。其优势包括桌面式设计、24小时技术支持以及直观的分析软件等。适用于半导体制造、生物医学原件、液晶显示器等多个领域的薄膜厚度测量。
产品详细

Filmetrics F40 光学膜厚测量仪

Filmetrics F40 光学膜厚测量仪


简介

Filmetrics-F40薄膜厚度测量仪是一款结合显微镜的薄膜测量系统,能够快速准确地测量薄膜的厚度和光学常数。该设备特别适用于需要在微小限定区域进行测量的应用,并且可以与市面上大多数显微镜连接使用。其优势包括桌面式设计、24小时技术支持以及直观的分析软件等。适用于半导体制造、生物医学原件、液晶显示器等多个领域的薄膜厚度测量。

Filmetrics的精密光谱测量系统让用户简单快速地测量薄膜的厚度和光学常数,通过对待测膜层的上下界面间反射光谱的分析,几秒钟内就可测量结果。

当测量需要在待测样品表面的某些微小限定区域进行,或者其他应用要求光斑小至1微米时,F40是不错的选择。使用先前足部校正显微镜的物镜,再进行测量,即可获得精准的厚度及光学参数值。只要透过Filmetrics的C-mount连接附件,F40就可以和市面上多数的显微镜连接使用。C-mount上装备有CCD摄像头,可以让用户从电脑屏幕上清晰地看样品和测量位置。

* 取决于材料

1.使用5X物镜参考

2.是基于连续20天,每天在Si基底上对厚度为500纳米的SiO2 薄膜样品连续测量100次所得厚度值的标准偏差的平均值

3.是基于连续20天,每天在Si基底上对厚度为500纳米的SiO2薄膜样品连续测量100次所得厚度值的2倍标准偏差的平均值

选择Filmetrics的优势

桌面式薄膜厚度测量的专家

24小时电话,E-mail和在线支持

所有系统皆使用直观的标准分析软件

附加特性

嵌入式在线诊断方式

免费离线分析软件

精细的历史数据功能,帮助用户有效地存储,重现与绘制测试结果

相关应用

半导体制造                            生物医学原件

• 光刻胶                               • 聚合物/聚对二甲苯

• 氧化物/氮化物                   • 生物膜/球囊壁厚度

• 硅或其他半导体膜层           • 植入药物涂层

微电子                                  液晶显示器

• 光刻胶                                • 盒厚

• 硅膜                                   • 聚酰亚胺

• 氮化/氧化薄膜滤镜      • 导电透明膜

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标签:光学膜厚测量仪,膜厚测量仪,检测设备
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