自动光反射膜厚仪
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自动光反射膜厚仪
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简介: Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪就像我们的F50白光干涉膜厚测量仪产品一样。主要测绘薄膜厚度和折射率。但它增加了许多用于生产环境的功能。这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,以及可以升级到全自动化晶圆传输的机型。
产品详细

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪


核心参数

波长范围:190nm-1340nm

测量精度:0.02nm

简介

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪就像我们的F50白光干涉膜厚测量仪产品一样。主要测绘薄膜厚度和折射率。但它增加了许多用于生产环境的功能。这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,以及可以升级到全自动化晶圆传输的机型。

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪产品介绍:

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪就像我们的F50白光干涉膜厚测量仪产品一样。主要测绘薄膜厚度和折射率。但它增加了许多用于生产环境的功能。这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,以及可以升级到全自动化晶圆传输的机型。

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪特点优势:

自动化薄膜厚度绘图系统,快速定位、实时获得结果;

可测样品膜层:基本上光滑的。非金属的薄膜都可以测量;

所有系统皆使用直观的标准分析软件;

凹槽自动检测

自动基准确定

全封闭测量平台

Filmetrics F60-t 自动光反射膜厚仪产品测量原理:

当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。

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标签:自动光反射膜厚仪,反射膜厚仪,检测设备
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