Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪
核心参数
波长范围:190nm-1700nm
测量范围:20nm-40um
测量精度:0.02nm
产品介绍
Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪借助光谱反射系统,可以测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量,达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性,矩形或线性测量坐标图案中选择,也可以创建自己编辑的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置,任何具有基本计算机技能的人都可以使用。
Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪产品介绍:
Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪借助光谱反射系统,可以测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量,达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性,矩形或线性测量坐标图案中选择,也可以创建自己编辑的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置,任何具有基本计算机技能的人都可以使用。
Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪产品特点优势:
自动化薄膜厚度绘图系统,快速定位、实时获得结果;
可测样品膜层:基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量;
测绘结果可用2D或3D呈现,方便用户从不同的角度检视;
Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪测量原理:
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射,由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉,从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率,可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度(越多的震荡代表越大的厚度),同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。