工作原理：

TR200采用接触式与激光非接触式双模测量技术。接触模式下，高精度压电陶瓷驱动金刚石触针（针尖半径0.5μm）沿被测表面滑动，触针位移信号经纳米级位移传感器转换为电信号，通过DSP数字信号处理器进行滤波与参数计算；非接触模式下，激光共焦传感器发射短波长激光束，通过表面反射光焦点位置变化计算形貌数据。仪器融合ISO 4287、ISO 25178双标准算法，可同时输出Ra、Rz、Sq、Sa等20余项二维/三维粗糙度参数，并通过5英寸高清触控屏实时显示三维形貌图与参数曲线。

应用范围：

广泛应用于半导体制造（晶圆表面粗糙度控制、光刻胶涂层均匀性检测）、精密光学（透镜表面光洁度评估、激光晶体微观形貌分析）、航空航天（航空发动机叶片涂层质量验证、涡轮盘微结构表征）、生物医疗（人工关节表面处理效果检测）及电子封装（芯片键合区金属层粗糙度优化）等领域。支持超光滑表面（Ra<0.001μm）至粗糙加工面（Ra>10μm）的全范围检测，可替代原子力显微镜（AFM）完成生产线快速筛查。

产品技术参数：

测量参数：Ra、Rz、Rq、Rt、Sq、Sz等22项国际标准参数；垂直分辨率：0.001μm；水平分辨率：0.1μm；测量范围：接触模式：0-160μm；非接触模式：0-500μm；取样长度：0.08-10mm可调；驱动速度：0.05-2mm/s；重复性：≤0.3%；显示方式：5英寸电容触控屏，支持三维形貌重建与多参数对比分析；数据存储：50000组测量数据，支持USB/Wi-Fi/蓝牙三通道传输；电源：可充电锂电池，连续工作18小时；防护等级：IP65，适应车间、实验室双环境。

产品特点：

双模测量技术，兼顾超光滑表面与粗糙面检测需求；0.001μm纳米级分辨率，达到国际高端设备精度标准；智能形貌重建算法，10秒内完成复杂曲面三维建模；一键式自动校准与振动补偿功能，简化操作流程；符合SEMI、ISO、ASTM等国际认证，是高端制造领域表面质量检测的核心工具。