工作原理：

该仪器采用白光垂直扫描干涉技术，通过分光镜将光源分为参考光与测量光两束。参考光直接照射至高精度参考镜，测量光则投射至被测样品表面，两束光反射后重新汇合并产生干涉条纹。干涉条纹的相位变化与样品表面高度直接相关，CCD图像传感器同步采集多帧干涉图像，通过相位解包裹算法计算表面高度分布，最终依据ISO 25178、GB/T 3505等标准提取算术平均偏差（Sa）、均方根偏差（Sq）、最大高度（Sz）等三维粗糙度参数。仪器内置智能滤波模块，可有效消除环境振动、样品倾斜对测量结果的影响。

应用范围：

广泛应用于半导体制造（晶圆表面粗糙度控制、光刻胶涂层均匀性检测）、精密加工（航空叶片、涡轮盘微结构表征）、光学元件（透镜、棱镜表面光洁度评估）、生物医学（人工关节表面形貌分析）及电子封装（芯片键合区表面质量验证）等领域。支持超光滑表面（Ra<0.01μm）至粗糙表面（Ra>10μm）的全范围检测，可替代传统的原子力显微镜（AFM）、触针式轮廓仪等设备，实现高效、无损、大范围表面形貌分析。

产品技术参数：

测量参数：Sa、Sq、Sz、Ssk、Sku等12项三维粗糙度参数；垂直分辨率：0.1nm；水平分辨率：0.5μm；测量范围：0.1mm×0.1mm至10mm×10mm（可选配扩展镜头）；扫描速度：0.1-5mm/s（可调）；重复性：≤1%；光源类型：高稳定性LED白光光源；显示方式：10.4英寸触控液晶屏，支持三维形貌重建与参数同屏显示；数据存储：10000组测量数据，支持USB/Wi-Fi双通道传输；电源：AC 100-240V，50/60Hz；防护等级：IP42，适应实验室常规环境。

产品特点：

非接触式测量，避免触针划伤超光滑表面；纳米级垂直分辨率，精准捕捉微观形貌特征；大范围扫描与高倍放大自由切换，满足多尺度检测需求；智能相位解包裹算法，适应复杂表面形貌分析；一键式操作界面，10分钟即可完成从安装到测量的全流程；符合SEMI、ISO、GB等国际标准，是高端制造领域表面质量检测的核心工具。