工作原理

设备采用双技术融合设计：非接触模式下，激光位移传感器发射线性光束至被测表面，通过反射光相位差计算高度变化，实现无损检测；接触模式下，金刚石触针沿表面滑动，位移传感器将机械形变转化为电信号，经滤波算法生成轮廓曲线。两种模式互补，既可避免软材料触针划伤，又能突破光学反射率限制，实现复杂曲面全覆盖测量。

应用范围

半导体制造：检测晶圆表面平整度、光刻胶厚度均匀性，确保芯片封装良率；

汽车工业：测量发动机曲轴、齿轮齿形轮廓误差，控制装配精度；

新能源领域：评估锂电池极片涂层厚度、隔膜孔隙率，优化电池性能；

航空航天：分析涡轮叶片表面波纹度、复合材料层间结合强度，保障飞行安全。

某新能源汽车企业通过该设备实现极片涂层厚度CPK值≥1.67，单片检测耗时从15分钟缩短至2分钟。

技术参数

测量范围：0.016μm-1.6mm（垂直方向），横向扫描长度达200mm；

分辨率：垂直方向0.001μm，横向0.1μm；

重复性：≤0.005μm（ISO 5436-1标准样块验证）；

扫描速度：0.05-20mm/s可调，支持高速动态检测；

兼容性：内置Rational-DMIS软件，支持ISO/ASME/EUR/GBT国际标准参数计算。

产品特点

双模智能切换：一键切换激光/触针模式，适配硬质合金与柔性薄膜等多样本；

全封闭框架结构：花岗岩基座与气浮导轨组合，热膨胀系数≤1×10⁻⁶/℃，确保24小时稳定性；

AI缺陷识别：深度学习算法自动标记划痕、孔洞等缺陷，生成3D形貌热力图；

模块化扩展：支持偏振光模块、微分干涉模块接入，满足超光滑表面检测需求。