工作原理

设备通过X射线管激发样品表面元素，探测器捕捉特征荧光信号后，利用多元迭代EFP算法对一次荧光、二次荧光及靶材荧光数据进行解耦分析。例如，检测钕铁硼磁铁表面Ni/Cu/Ni/FeNdB四层镀层时，可精准区分第一层与第三层镍的厚度，误差≤±0.1%，同时识别镀层中Pb、Cd等有害元素含量，满足RoHS指令要求。其核心优势在于无需标样即可实现多层镀层的成分与厚度同步分析，且支持凹槽深度0-90mm的曲面样品检测。

应用范围

航空航天：测量飞机蒙皮铝镁合金阳极氧化膜、涡轮叶片热障涂层厚度；

汽车制造：验证车身电泳漆、面漆厚度及均匀性，检测电池模组铜排镀镍层；

新能源领域：分析锂电池极片铜箔/铝箔表面涂碳层厚度及碳含量均匀性；

电子电器：检测PCB板镀金层、手机外壳PVD镀膜厚度及耐磨性。

典型案例包括某新能源汽车企业通过该设备完成电池模组镀层检测，单次测量耗时≤2秒，效率较传统方法提升5倍。

技术参数

测量范围：0.005μm-9000μm；

元素分析：Cl(17)-U(92)，检出限1ppm；

分辨率：0.001μm（镀层），0.1nm（光谱）；

样品台：全自动XY移动平台（210mm×230mm），Z轴移动范围145mm；

光学系统：微光聚焦技术，光斑扩散度<10%（0-90mm变焦距离）；

仪器尺寸：550mm×480mm×470mm，重量45kg。

产品特点

高精度智能：采用德国进口传感器，误差控制在±1%±1μm内，支持一键自动校准与数据存储；

一机多用：集成镀层测厚、成分分析及RoHS检测功能，适配铁磁性/非铁磁性基体；

高效稳定：宽光谱卤素灯光源与无感自动对焦系统，实现1.2m×0.7m大尺寸样品多点位无损检测；

耐用可靠：探头采用SU-8胶防护层，耐溶剂腐蚀，使用寿命超8年。