工作原理
设备采用高分辨率彩色CCD传感器与可程控三环八区LED环形光源组合,通过0.7-4.5X自动变倍镜头捕捉被测工件影像,影像信号经千兆网传输至计算机。软件基于亚像素边缘检测算法自动识别轮廓特征,结合美国GSI精密光栅尺反馈的坐标数据,将像素值转换为实际物理尺寸参数。其独创的“动态光场补偿技术”可实时调节光源角度与强度,消除反光、阴影对测量的影响;自动聚焦系统通过激光测距与软件联动,实现Z轴0.1秒内精准定位,确保复杂曲面与微小结构的清晰成像。
应用范围
覆盖电子、汽车、新能源、精密机械等行业的高精度检测场景:
电子元件:测量PCB板孔径、连接器针脚间距、芯片引脚共面度;
汽车制造:检测发动机缸体孔位、变速器壳体平面度、车身钣金冲压件形变;
新能源领域:验证电池极片厚度均匀性、燃料电池双极板流道深度;
精密机械:分析齿轮齿形误差、螺纹螺距、轴类零件同轴度。
典型案例包括某半导体企业通过设备的阵列测量功能,实现晶圆表面1000个微孔的全自动检测,效率较传统方法提升500%。
技术参数
测量范围:X/Y轴400mm×300mm,Z轴150mm;
精度指标:XY向示值误差≤(2+L/300)μm,重复性≤0.8μm;
光学系统:520TV线彩色CCD,综合放大倍率18-225X,支持透射/反射/同轴三光源;
硬件配置:00级花岗石基座、松下伺服马达、研磨级滚珠螺杆;
软件功能:支持3D形貌重建、GD&T形位公差分析、CAD比对、SPC统计。
产品特点
极速测量:自动聚焦与CNC扫描同步,单件检测时间≤2秒;
超强刚性:大理石底座与航空铝材架构,承载35kg工件无变形;
智能防撞:激光安全光幕与软件限位双重保护;
合规无忧:数据符合ISO 10360-2标准,支持审计追踪。