高精密自动镀层测厚仪
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高精密自动镀层测厚仪
来源:佳谱仪器(苏州)有限公司
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简介: 佳谱仪器(苏州)有限公司推出的T650高精密自动镀层测厚仪,是一款基于先进X射线荧光光谱(XRF)技术的全自动化镀层厚度与成分分析设备,专为高端电子制造、精密五金加工及新能源材料等领域设计。该仪器可无损检测金属基材表面单层或多层镀层的厚度(0.005μm-100μm)及成分比例,覆盖金(Au)、银(Ag)、钯(Pd)、镍(Ni)、铜(Cu)、锡(Sn)等30余种材料,重复性误差<0.5%,满足SEMI、IPC、ASTM等国际严苛标准。其全自动化操作与高精度定位系统,支持实验室研发级精密分析及生产线高速在线检测,是提升产品良率与工艺控制的核心装
产品详细

JPSPEC


工作原理

T650采用能量色散型X射线荧光光谱(ED-XRF)技术,通过微型高功率X射线管发射聚焦型高能X射线,穿透镀层后激发基材与镀层原子产生特征X射线荧光。高分辨率硅漂移探测器(SDD)结合数字脉冲处理技术,实时捕获微弱荧光信号并转换为能量谱图,搭载智能多层谱峰分离算法,可精准解析单层厚度或复杂多层结构(如Cu/Ni/Au三层镀层)的厚度及成分比例。仪器内置基体效应动态校正模型与温度补偿模块,确保在不同材质基体(如陶瓷、塑料镀金属)及-10℃至50℃环境下检测结果稳定性。



应用范围


半导体封装:引线框架镀银/镀金厚度均匀性分析、晶圆级封装(WLP)镀层工艺验证;

高端电子:5G通信器件镀钯层耐磨性检测、连接器端子镀金层可靠性评估;

新能源:电池极片箔/箔集流体镀碳层厚度优化、氢燃料电池双极板镀层耐腐蚀性筛查;

精密五金:钟表零件镀铑层厚度控制、医疗器械不锈钢部件镀镍层生物相容性检测;

汽车电子:IGBT模块镀铜层散热性能分析、传感器镀金触点信号稳定性验证。


技术参数


测量元素:O(8)-U(92),重点优化贵金属及过渡金属镀层材料;

厚度范围:0.005μm-100μm(单层),支持5层叠加结构分析;

管电压/电流:5-60kV/0-500μA可调,智能功率优化;

探测器:超大面积SDD,分辨率<130eV;

分析时间:0.5-60秒(自动模式),高速模式下≥500点/小时;

定位精度:XYZ三轴伺服电机驱动,重复定位精度±1μm。


产品特点


全自动化智能检测:一键启动自动对焦、测量与报告生成,支持MES系统数据直连;

超微区分析能力:配备显微摄像头与激光定位,可检测Φ0.05mm微小区域镀层;

多层镀层解析专家:内置2000+种材料谱库,自动识别镀层结构并输出3D厚度分布图;

安全环保设计:四级辐射屏蔽系统,通过TÜV认证,操作人员辐射剂量<0.01μSv/h;

模块化扩展:可选配真空腔体(检测轻元素镀层)、自动进样器(批量检测)及AI分析软件包。

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标签:高精密自动镀层测厚仪,物理检测设备
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