工作原理

气浮式三坐标测量仪564CNC基于气浮导轨技术和空间坐标测量原理。其核心部件——气浮导轨，通过向导轨与运动部件之间持续供应高压气体，形成一层极薄的气膜，使运动部件悬浮在气膜上，实现了近乎无摩擦的运动。测量时，X、Y、Z三个轴向的运动部件在气浮导轨上精确移动，测量探针接触被测工件表面产生微小位移。高精度光栅尺实时捕捉各轴的位移变化，将信号传输给控制系统。控制系统依据预设程序和算法，结合位移数据，精准计算出探针在三维空间中的坐标，从而构建出工件的几何形状和尺寸信息。

应用范围

广泛应用于航空航天领域，对飞机发动机叶片、机翼零部件等高精度工件进行测量，保障飞行安全；在汽车制造行业，可对发动机缸体、变速器壳体等复杂零部件进行尺寸和形位公差检测，确保零部件的装配精度；电子制造中，对精密电子元件、半导体芯片等进行尺寸测量和缺陷检测，提高产品质量；模具制造时，能快速测量模具的型腔、型芯尺寸，缩短模具制造周期。

产品技术参数

测量范围为X轴500mm、Y轴600mm、Z轴400mm，满足中小型高精度工件的测量需求。测量精度高达(1.5 + L/400)μm（L为测量长度，单位：mm），重复性精度小于0.6μm，最大驱动速度为400mm/s，加速度为700mm/s²。

产品特点

气浮导轨技术使运动部件摩擦极小，运动平稳，有效提高了测量精度和稳定性。具备高精度、高速度的测量能力，能在短时间内完成复杂工件的测量任务。操作简便，配备直观的软件界面，测量人员经简单培训即可上手。同时，仪器具有良好的环境适应性，能在不同温度、湿度条件下稳定工作。