简介： 无支架导轨模块的轮廓仪是专为高精度磨损速率测量而设计的半导体测试设备。它通过精确测量涂层或基底材料的磨耗情况，为选择最佳材料提供可靠数据。与传统带支架的轮廓仪相比，无支架导轨模块能够避免因摩擦表面测量不准确而导致的误差（传统设备测量结果可能高达实际值的3倍），从而确保测试结果的高精度和可靠性。该设备具备高分辨率（Z方向7.55nm），能够在磨损不充分时继续在同一轨道测试，无需移动样品，显著提升了测试效率和准确性，是半导体材料磨损测试的理想选择。