Tencor P-7探针式轮廓仪为生产和研发(R&D)环节提供了从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达150毫米，无需拼接。

产品描述

Tencor P-7探针式轮廓仪以成功领先市场的Tencor P-17台式探针式轮廓仪系统为基础。它涵盖了P-17的卓越测量性能，为台式探针式轮廓仪提供了出色的性价比。Tencor P-7探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，扫描范围可达150mm，无需拼接。

特征

台阶高度：纳米级到1000微米

恒定力控制：0.03至15mg

样品的全直径扫描，无需拼接

视频：5MP高分辨率彩色相机

弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差

软件：简单易用的软件界面

生产能力：全自动测量，具有测序、图形识别和SECS/GEM功能

应用

台阶高度：2D和3D台阶高度

纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

形状：2D和3D翘曲、形状

应力：2D和3D薄膜应力

缺陷检测：2D和3D缺陷表面形貌

工业

高校、实验室和研究所

半导体和化合物半导体

LED：发光二极管

太阳能

MEMS：微机电系统

数据存储

汽车

医疗器械