全新的 Zeta-Solar 光学轮廓仪专为满足先进金属化工艺中对于细栅线、接触垫和主栅线的测量需求而设计。更为先进的3D 成像技术，以及最大可容纳230mm x 230mm 规格太阳能电池片的 XY 载台，使得 Zeta-Solar 成为太阳能工艺研发和制程控制的理想专用量测机台。

产品描述

KLA Instruments™ 推出新款 Zeta™-Solar。它是一款为太阳能行业定制的光学轮廓仪，可满足独特的太阳能电池金属化需求，针对先进的太阳能电池工艺金属细栅和主栅测量而设计。这款全新的 Zeta 型号利用 3D 成像技术的进步简化了成像系统。提供多种 XY 测量台选项，可满足230mm x 230mm 最新一代太阳能电池的测量需求。此外还开发了 Zeta-Solar 软件，将易于使用的 Profilm 软件与 成熟的Zeta金属化测量解决方案无缝结合。更强大的测量分析功能提供了专为光伏行业设计的金属化测量方案和质量评判标准。

特征

太阳能电池金属细栅、主栅的高度、宽度测量，拥有宽度、高度、高宽比和横截面积的统计分析，以及合格品/不合格品识别分析

HDR功能，可优化具有超低反射率绒面的栅线测量效果

自动拼接功能，可用于大视场 (FOV) 区域测量，如主栅和栅线接触点等

采用230mm x 230mm 可编程XY 测量台，适用于最新一代太阳能电池产品

太阳能电池金属栅线的3D真彩色成像

行业领先的产品性能：可重复性和再现性

应用

金属化细栅线

金属化主栅线

金属化接触/键合垫

真彩色成像