MPS-10X型多功能型探针台

产品简介 ：

在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试得探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧，功能实用，成本较低得简易式探针台，

MPS-10X型多功能型探针台在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；

 在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试得探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧，功能实用，成本较低得简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；

主要技术指标：

结构紧凑，功能实用，价格实惠

最大可用于12寸以内样品测试

兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转和微调升降

漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）

精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，无回程差设计

应用于高等院校/研究所/公司实验室使用

1微米以上电极/PAD使用

模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块

技术参数选型：