条纹变像管电极退火炉是一款专为真空电子器件的真空除气处理、焊接及特殊封接工艺设计的高性能设备。其单工位立式不锈钢双层水冷结构，下盖电动升降装样，操作便捷。采用自动/手动控制方式，分子泵正常工作后40分钟内可将炉内真空度提升至10⁻³~10⁻⁴Pa，系统漏率低至1×10⁻⁶Pa·L/s。真空泵组由进口干泵和分子泵组成，噪音低于40分贝。最高加热温度可达1300℃，常用温度范围500℃~1200℃，温度均匀性±3℃，控温精度±1℃。炉内容积为Ф400×500mm，采用三区加热、独立测温控温方式，配备低电压大电流加热电源。设备配有至少2路充气阀，用于快速降温。真空室及加热体固定，下底盘及载物台升降，结构紧凑，便于操作维护。系统采用12寸触摸屏+PLC控制，自带软件可实时显示温度、真空度等参数，并可输出至Mindoms Office软件。具备完善的保护装置，可在突发情况下保护设备安全。

用途:

1、用于真空电子器件的真空除气处理及焊接;

2、在高真空中进行特殊封接工艺等处理。

二、技术规格及要求:

1、工位及结构:单工位、立式不锈钢双层水冷结构，下盖电动升降装样;

2、控制方式:自动/手动;

3、抽速:分子泵正常工作后40分钟内，炉内的真空度要求达到10-3~10-4pa;

4、系统漏率:1x10-'PaL/s(氨质谱检漏仪);

5、真空泵组由进口干泵系统和分子泵系统组成，泵组噪音不能高于40分贝;

6、最高加热温度:1300℃,常用温度500℃~1200℃:温度均匀性士3℃，控温精度:+1℃:

7、炉内容积:中400x500mm;

8、加热方式采用三区加热、独立测温控温方式，PID智能温控仪程序控温;采用低电压大电流加热电源，电压低于45V;

9、设备配有至少2路充气阀，通过充气阀将氮气通入真空室，使真空室快速降温;

10、设备结构形式:真空室以及加热体固定不动，下底盘以及载物台升降;

11、设备结构紧凑、布局合理、外形美观、便于操作维护;

12、系统应采用触摸屏(12寸)+PLC控制方式，自带软件，可以设定并实时显示过程中的温度、真空度等参数。工艺参数结果可以输出到mindoms Office软件中。

13、在抽气过程中，如系统突然暴露大气，应能处于保护状态， 避免部件的损坏。停电停水、以及系统不能维持真空状态，设备带有保护装置， 整个系统连锁保护。